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检测项目

电子束直写纳米图形制备

样品处理要求

1.导电性不好的样品(如石英、玻璃、SiO2等)加工精度不保证。如需导电胶单独计费。 2.样品尺寸:4英寸以下圆形样品;方形或矩形样品;5英寸以下光刻版。 3.混合套刻标记需清晰,符合规范。

检测资质

特殊要求

【说明】收费标准仅针对单项工艺,如有特殊要求,费用另行计算并折算机时计收。(收费管理小组2020年第2次会议通过)

检测单位

所属单位: 微纳加工中心

项目负责人:孙颖

检测人员:孙颖,孙颖,孙颖,孙颖,孙颖,孙颖,孙颖

检测地址:微纳加工中心

关联仪器