仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 深圳市丰和波达机电设备有限公司
购置日期： 2019-07-10
规格型号： PT-5SM
放置地址：103
仪器管理员：孙颖
联系电话：登录后查看
等离子清洗机
等离子清洗机
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仪器生产商： 深圳市丰和波达机电设备有限公司
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| 工作时间： | 08:30-17:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 10 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 30 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 表面清洗去污，改善材料本身表面性能，如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等。可用于：有机膜去除，表面改性，表面清洗，表面刻蚀，金属氧化物去除 |
|---|
| 主要参数： | 射频电源：20MHZ,0-200W 内腔尺寸： 直径150mm×270mm 容量5L 外形尺寸： 600mmx500x480mm 腔体材质：石英耐热玻璃 特性阻抗： 50欧姆，自动匹配 真空度： 1Pa-30Pa 气体路数：N2，O2 双路气体输入 气体流量： 10—160ml/min(可调) 过程控制： PLC人机界面自动与手动方式 清洗时间： 1-99999秒钟可调 功率大小 10%-100%可调 重量： 45Kg 真空泵： 抽速4L/S 真空室温度： 小于30°C 冷却方式： 强制风冷 |
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