平台简介
微纳加工中心是浙江大学“十三五”规划重点建设工程之一，是我校开展与促进纳米科技及多学科交叉研究的重要创新平台。中心的建设目标是建成集微米、纳米加工、制造和检测手段于一体的，开放式、一站式科研实验室，为浙江大学各相关学科以及校外科研机构提供一个全方位的科研与创新平台。
中心拥有实验室总面积约1200平米，其中百级洁净区200平米，千级洁净区800平米，拥有先进的微纳加工设备及测试设备：电子束直写、激光直写、光刻机、等离子清洗机、感应耦合刻蚀、原子层沉积、磁控溅射系统、等离子增强化学气相沉积、低压化学气相沉积、分子束外延、倒扣焊键合机、碳化硅氧化炉、快速退火炉、椭圆偏振光谱仪、台式扫描电镜、探针轮廓仪等。
中心定位于微纳技术发展前沿，结合校内信电、光电、电气、物理、材料、机械等相关学科的需求特点，建设基于多种半导体衬底材料的微米/纳米图形制备、薄膜沉积/生长、干法及湿法刻蚀、表征测试及封装的体系化、模块化工艺链，适用于微纳电子器件、光电子器件、功率器件、MEMS、二维材料器件、柔性/可穿戴电子器件、集成电路芯片等工艺的微纳加工。
主攻领域和特色技术
联系我们
