仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 德国卡尔蔡司
购置日期： 2013-12-19
规格型号： AXIO IMAGER A2M
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 超净室内103
仪器管理员：孙颖
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 06:30-24:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 30 天 0 点； 普通: 30 天 0 点； 资深: 10 周 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 10 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 5 分钟 |
| 仪器介绍： | AXIO IMAGER A2M设备可对4英寸以下样品进行表面观察。 主要用于光刻区图形转移工艺后的表面形貌实时观测。也可用于 各类芯片、固体材料、透明和非透明样品的形貌观察、划痕和缺陷检测。 使用示例：对石墨烯进行相关研究，如研究生长形貌及石墨烯转移质量，石墨烯边缘等。 具备透射、反射两种模式。适合透明、非透明样品观察。 放大倍率50-1000倍。 明场、暗场两种观察模式。 可进行CCD拍照，自动添加标尺，可进行拍照测量，多种文件存储格式。 |
| 主要参数： | 1.AXIO IMAGER A2M型号，配备100倍, 50倍, 40倍，20倍, 10倍, 5倍物镜。 2.配备10倍目镜。 3.配备CCD拍照功能，自动添加标尺。 4.明场、暗场观察模式。 5.微分干涉功能。 6.透射光源、反射光源。 7.多种文件存储格式。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
检测项目名称：芯片倒装工艺
检测资质：其他
检测单位：微纳加工中心
仪器数量：3
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 1 | 图形转移工艺流程及设备选用 | 2026-06-12 22:30:05 |
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
