仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： nikon
购置日期： 0000-00-00
规格型号： Nikon Optiphot 200
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 超净室内103
仪器管理员：孙颖
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 6:30-24:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 10 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 5 分钟 |
| 仪器介绍： | 主要用于光刻区图形转移工艺后的表面形貌实时观测。也可用于各类芯片、固体材料、透明和非透明样品的形貌观察、划痕和缺陷检测。 可实现50-1000倍放大。 明场、暗场观察模式。 CCD拍照测量，测量数据多格式保存。 |
| 主要参数： | 50-1000倍放大。 2D观察和测量。 明场、暗场观察模式。 配备CCD拍照功能, 自动添加标尺. |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
检测项目名称：芯片倒装工艺
检测资质：其他
检测单位：微纳加工中心
仪器数量：3
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 1 | 图形转移工艺流程及设备选用 | 2026-06-12 22:19:36 |
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
