仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 中国上海实贝仪器设备厂
购置日期： 2018-11-28
规格型号： PVD-090-HMDS
放置地址：----
仪器管理员：孙颖
联系电话：登录后查看
真空烘箱
真空烘箱
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所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 中国上海实贝仪器设备厂
购置日期： 2018-11-28
规格型号： PVD-090-HMDS
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| 工作时间： | 07:30-8:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 10 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 30 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
检测项目名称：衬底表面增粘处理
检测资质：无
检测单位：微纳加工中心
仪器数量：1
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 半导体光刻工艺中硅片表面改性；增加光刻胶对硅片的黏附性。 |
|---|
| 主要参数： | 1.基片尺寸：支持2、3、4、6、8、12英寸基片及破片 2.温度范围：RT～160℃ 3.温度精度：＋/-1℃@100℃ 4.加热时间：30min @RT~160℃ |
|---|