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检测项目

薄膜厚度及形貌分析

样品处理要求

样品表面及背面需干净且干燥

检测资质

特殊要求

椭偏测试样品请写明样品具体信息

检测单位

所属单位: 微纳加工中心

项目负责人:刘艳华

检测人员:刘艳华,刘艳华

检测地址:玉泉校区微电子楼微纳加工中心超净室

关联仪器