椭圆偏振光谱仪 - 仪器详情

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仪器介绍
主要参数

工作时间：	08:30-17:30
最小可预约时间段：	0.25 小时
最大可预约时间段：	8 小时
日历最小单位：	0.25 小时
最近提前预约时间：	未授权用户: 24小时；普通资格用户: 1小时；资深资格用户: 1小时
最远提前预约时间：	初级: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数：	5 次/天
无代价撤销预约时间：	1440 分钟

序号	标题	文件数量	添加时间	操作

检测项目名称：薄膜厚度及形貌分析

检测资质：无

检测单位：微纳加工中心

仪器数量：2

序号	标题	添加时间
暂无数据

仪器介绍：	测量膜厚、折射率、消光系数等信息。

主要参数：	1、测量范围：Psi= 0°– 90°，Delta= 0°– 360°，无死区。 2、测量精度：直射测量空气（Psi = 45°; Delta = 0°），满足Ψ≤45°0.01°，Δ≤0°0.01° （1.5eV-5eV）。 3、测量重复性：SiO2薄膜厚度测量10次的标准偏差1δ优于0.2？（样品100nm SiO2/Si）,633nm处折射率< 0.0002。 4、测量光谱范围：247nm至2066nm。 5、使用宽光谱光弹调制晶体（PEM）调制信号偏振状态，弹性晶体光谱范围宽，红外波段可覆盖至2100nm。6、Ψ、Δ 全量程都无死角测量。7、手动量角器，角度可从45°到85°变化，最小步进为5°。8、样品台可放样品大小：最大直径200mm、最大厚度20mm，高度可调。

主要参数：

1、测量范围：Psi= 0°– 90°，Delta= 0°– 360°，无死区。 2、测量精度：直射测量空气（Psi = 45°; Delta = 0°），满足Ψ≤45°0.01°，Δ≤0°0.01° （1.5eV-5eV）。 3、测量重复性：SiO2薄膜厚度测量10次的标准偏差1δ优于0.2？（样品100nm SiO2/Si）,633nm处折射率< 0.0002。 4、测量光谱范围：247nm至2066nm。 5、使用宽光谱光弹调制晶体（PEM）调制信号偏振状态，弹性晶体光谱范围宽，红外波段可覆盖至2100nm。6、Ψ、Δ 全量程都无死角测量。7、手动量角器，角度可从45°到85°变化，最小步进为5°。8、样品台可放样品大小：最大直径200mm、最大厚度20mm，高度可调。