仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 美国Tencor公司
购置日期： 2012-06-19
规格型号： KLA/Tencor D-100
放置地址：玉泉校区微电子楼微纳加工中超净室113
仪器管理员：刘艳华
联系电话：登录后查看
探针轮廓仪
探针轮廓仪
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所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 美国Tencor公司
购置日期： 2012-06-19
规格型号： KLA/Tencor D-100
放置地址：玉泉校区微电子楼微纳加工中超净室113
仪器管理员：刘艳华
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| 工作时间： | 8:30-17:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 1小时； 资深资格用户: 1小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
检测项目名称：薄膜厚度及形貌分析
检测资质：无
检测单位：微纳加工中心
仪器数量：2
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： |
|---|
| 主要参数： | 1、扫描长度范围：30mm最大； 2、垂直测量范围：50 µm 最大； 3、台阶高度重现性：6 Å 或 0.1%，取大值； 4、垂直分辨率：0.38Å最小信号位； 5、横向分辨率：100nm (取决于探针) 6、探针压力：0.03mg； 6、探针曲率半径：2.5µm标准； 7、样品台直径：140mm。 8、样品厚度：20mm (~0.75英寸) |
|---|