⚠️注意事项： 1.样品最小尺寸1.2cm*1.2cm！ 2.曝光图形距离样品边缘保证0.4cm以上。 3.圆形样品特别注意：保证各个写图位置距离最近样品边缘必须0.4cm以上。 4.若曝光图形阵列：务必保证阵列外围距离样品边缘0.4cm以上。 5.版图图形设备可识别。 如因用户未遵守规则导致设备故障和损坏，维修费用及其他相关损失由客户承担！！！
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预约前需按照微纳加工中心要求注册、培训及考核。 首次使用设备前请联系负责老师，培训考核通过后自行预约使用。
所属单位： 微纳加工中心
项目负责人：孙颖
检测人员：孙颖
检测地址：微纳中心103
