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检测项目

VOYAGER 50KV电子束直写

样品处理要求

样品尺寸：4英寸圆片，向下兼容。5英寸掩模板。无磁性无挥发。表面导电性良好。预约前需按照微纳加工中心要求注册、培训及考核。首次使用设备前请联系负责老师，培训考核通过后自行预约使用。

检测资质

无

特殊要求

表面导电性处理、电子束胶自备或付费

检测单位

所属单位：微纳加工中心

项目负责人：孙颖

检测人员：孙颖

检测地址：微纳中心102

关联仪器