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检测项目

双面紫外光刻

样品处理要求

5寸光刻版自备,4英寸以下衬底自备,光刻胶、显影液、镊子等实验耗材自备

检测资质

特殊要求

检测单位

所属单位: 微纳加工中心

项目负责人:孙颖

检测人员:孙颖

检测地址:微纳中心102

关联仪器