仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 机械工程学院 > 机械工程学院实验室平台1
仪器生产商： 奥林巴斯
购置日期： 2015-11-09
规格型号： OLS4100-SAF,OLS40-SU
放置地址：308
仪器管理员：汪延成
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 在微米和亚微米级别，用于材料加工表面轮廓与形状的全面三维表征测试与分析。可获得被观测样品的微观二维形貌图像、微观三维形貌图像、微观三维轮廓与地形图像。将采样数据运算后,可获得线宽、面积、体积、台阶、线与面粗糙度和平面几何参数等测量数据。 |
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| 主要参数： | 1、机型为正置分体式结构，测量部与载物台可分离，采用针孔共聚焦点模式工作；2、激光波长：400nm到600nm；3、Z轴测量范围：10mm以上；4、Z轴分辨率：不低于0.002um，重复精度（δ）≤0.02um；5、XY方向测量范围：不低于1.2mm*1.2mm；6、X/Y方向显示分辨率：不低于0.01um，重复精度（3δ）≤0.03um；7、物镜：X10，X20，X50，X100。8、扫描方式：面扫描和线扫描两种，其中，面扫描速度100Hz、线扫描速度7000Hz。8、测试软件可以2D、3D图像观察，并能测量长度、高度、角度、面积、体积、粗糙度等参数，且具备HDR高清晰动态观察功能。 |
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