仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 机械工程学院 > 流体动力基础件与机电系统全国重点实验室
仪器生产商： 上海微泓自动化设备有限公司
购置日期： 2014-04-03
规格型号： 定制,步进速度1200mm/s,扫描速度700mm/s
放置地址：104
仪器管理员：葛耀峥
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 模拟光刻机扫描运动的工作平台 |
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| 主要参数： | 1、步进速度（最大运动速度）：1200mm/s；2、扫描速度（额定匀速运动速度）：700mm/s；3、额定运动加速度：12000mm/s24、最大加加速度：2000000mm/s35、运动台物理运动有效行程（X）：450mm；6、重复定位精度：μm；7、平台系统XY平面与水平面重合，平面内的运动平面度在10μm以内；8、平台变速运动平稳，无晃动。最大负载、最大加速度（加速度绝对值不变，加速度以最大加速形成为周期改变方向）工况下，平台上任意一点运动时的位置相对于初始位置的位移量绝对值小于50μm；9、运动平台额定负载0~5Kg；10、可以为高速相机从底部拍摄运动平台上部工作面的流场提供视场。 |
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