仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 物理学院 > 物理学院（直管）
仪器生产商： FEI香港有限公司
购置日期： 2017-12-19
规格型号： FEI Nova 450+Raith Elphy Quanta,高分辨电子显微镜(1kV, 1.4nm分辨
放置地址：A126
仪器管理员：郑毅
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 1.高精度电子束曝光（主要功能）;2.电子束扫描显微镜成像功能; |
| 主要参数： | 1.电子光学系统★分辨率：二次电子（SE）像≤1.0nm@15kV；1.4nm@1kV;加速电压：0.2kV－30KV。放大倍数误差：≤3%★电子枪：Schottky场发射电子枪，最大束流200nA★物镜光阑：物镜光栏能自加热自清洁；无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。2.样品台：五轴马达驱动★样品台移动范围：X/Y≥110mm；Z≥65mm；样品台倾斜角度：T≥-15～+75°；R=360°连续旋转。样品室尺寸：左右379mm3.分析工作距离：5mm4.数字图像记录系统图像处理：最大6144x4096像素；图像显示：单幅图像显示或4帧图像同时显示图像记录:TIFF,BMP或JPEG;图像漂移补偿DCFI.5.配置ElectrostaticBeamBlanker和KeithleyPicometer(皮安计)6.配置NPGS（纳米图形生成系统）9.1，能和NPGS无缝链接完成电子束曝光7.配置UHV腔体，有2个以上可扩展窗口，以备以后系统功能扩展，比如做EDS和FIB扩展用 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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