仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 物理学院 > 物理学院（直管）
仪器生产商： 四川南光真空科技有限公司
购置日期： 2014-05-29
规格型号： H94-25C型4’’,曝光强度20mw/cm2，显微镜50X-300X
放置地址：212
仪器管理员：王宗利
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 样品电极图形的制作和样品掩膜加工 |
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| 主要参数： | 紫外光曝光强度：≥20mw/cm2且可调；曝光分辨率：≤1μm；显微镜50X～300X连续变倍；对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm；Q粗调±15°，细调±3°；对准精度：≤1μm；掩模版尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸。 |
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