仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院 > 先进光子学国际研究中心
仪器生产商： 深圳市原速光电科技有限公司
购置日期： 2024-05-06
规格型号： SUPERALD E200SP
放置地址：1A楼A203微纳制备实验室-1镀膜区
仪器管理员：狄大卫
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： |
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| 主要参数： | 适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工。 至少配备6路前驱体源管路：两路常温源、4路加热源；其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀。 加热箱：室温至不低于120 ℃可控，控制精度优于或等于±1 ℃，要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热，加热箱内管路温度均匀性优于或等于±5 ℃。 等离子体系统配备射频电源，频率13.56 MHz，功率不小于1000 W，冷却方式为风冷。功率输出稳定度及功率调节精度不大于10 W，功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60 dBc，谐波抑制不小于-50 dBc。 臭氧发生器输出端至少配备1个微调阀和1个隔膜阀，阀门最高耐温不小于120 ℃。 |
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