仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院（海宁国际校区） > 微纳公共平台
仪器生产商： 浙江赛威科光电科技有限公司
购置日期： 2022-05-09
规格型号： SVAC-FilmLab-T400S301,溅射室极限真空度：6.7*10-5Pa
放置地址：1E105
仪器管理员：戈佳艳
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 08:30-17:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 336 小时 0 点； 普通: 336 小时 0 点； 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 1.溅射室极限真空度：6.7*10-5Pa； 2.系统漏率：1*10-7Pa.L/s； 3.溅射室烘烤照明：采用红外加热除气方式，烘烤温度：150℃； 4.样品台：可加热旋转，最大4英寸样品，样品台最高的加热温度为500℃，程序控温; 5.样品实现自转，转速为：0-50 r/min。 |
| 主要参数： | 1.腔体漏率：小于1*10-10Pa.m3/s；2.分子泵：对氮气抽速大于600L/s；3.机械泵：抽速6L/s；4.极限真空：小于6.7E-5Pa；5.恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于40分钟；6.采用10V200A的稳流电源，电流调节精度0.1A，最大电流200A，最大电压10VDC；7.最高加热温度：650度，温度控制精度±0.3度；8.可装载最大6英寸样品（样品盘直径150mm，方片尺寸100*100mm）；9.样品台旋转：转速0-25rpm连续可调；10.可蒸镀金属:Cu,Ni。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 磁控溅射&热蒸发镀膜系统 SVAC-FilmLab 操作说明 | 1 | 2024-04-26 16:45:00 | 下载 |
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
