仪器编号:登录后查看
所属平台: 其他
仪器状态:
所属单位: 浙江大学 > 国际联合学院(海宁国际校区) > 微纳公共平台
仪器生产商: 倍耐克有限公司
购置日期: 2022-03-30
规格型号: TFS-200
放置地址:1E105
仪器管理员:戈佳艳
联系电话:登录后查看
工作时间: | 08:30-17:00 |
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最小可预约时间段: | 0.25 小时 |
最大可预约时间段: | 168 小时 |
日历最小单位: | 0.25 小时 |
最近提前预约时间: | 未授权用户: 0小时; 普通资格用户: 0小时; 资深资格用户: 0小时 |
最远提前预约时间: | 初级: 336 小时 0 点; 普通: 336 小时 0 点; 资深: 336 小时 0 点 |
最大有效预约次数: | 5 次/天 |
无代价撤销预约时间: | 1440 分钟 |
序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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1 | 原子层沉积系统 TFS-200 操作说明 | 1 | 2024-04-26 16:02:52 | 下载 |
序号 | 标题 | 添加时间 |
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暂无数据 |
仪器介绍: | 1.沉积材料:Al2O3、ZnO、SiO2; 2.工艺温度:20-500℃; 3.样品尺寸:6英寸向下兼容; 4.沉积速率:Al2O3:10nm/125cycle、ZnO:20nm/125cycle。 |
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主要参数: | 1.沉积材料:Al2O3、ZnO、SiO2; 2.工艺温度:20-500℃; 3.样品尺寸:6英寸向下兼容; 4.沉积速率:Al2O3:10nm/125cycle、ZnO:20nm/125cycle。 |
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