分析测试管理服务平台

原子层沉积系统

首页 仪器预览
原子层沉积系统

原子层沉积系统

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 国际联合学院(海宁国际校区) > 微纳公共平台

仪器生产商: 倍耐克有限公司

购置日期: 2022-03-30

使用模式: 送样预约,自主预约

规格型号: TFS-200

放置地址:1E105

仪器管理员:戈佳艳

联系电话:登录后查看

工作时间: 08:30-17:00
最小可预约时间段: 0.25 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.25 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 0小时; 普通资格用户: 0小时; 资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间: 初级: 336 小时 0 点; 普通: 336 小时 0 点; 资深: 336 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
1 原子层沉积系统 TFS-200 操作说明 1 2024-04-26 16:02:52 下载
序号 标题 添加时间
暂无数据
仪器介绍:

1.沉积材料:Al2O3、ZnO、SiO2;

2.工艺温度:20-500℃;

3.样品尺寸:6英寸向下兼容;

4.沉积速率:Al2O3:10nm/125cycle、ZnO:20nm/125cycle。


主要参数: 1.沉积材料:Al2O3、ZnO、SiO2; 2.工艺温度:20-500℃; 3.样品尺寸:6英寸向下兼容; 4.沉积速率:Al2O3:10nm/125cycle、ZnO:20nm/125cycle。