仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
仪器生产商： SUSS MicroTec
购置日期： 2021-12-21
规格型号： MA6Gen4，双面对准下1-1000微米
放置地址：海宁国际校区1E楼1楼-微纳公共平台
仪器管理员：戈佳艳
联系电话：登录后查看
双面对准紫外光刻机
双面对准紫外光刻机
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仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
仪器生产商： SUSS MicroTec
购置日期： 2021-12-21
规格型号： MA6Gen4，双面对准下1-1000微米
放置地址：海宁国际校区1E楼1楼-微纳公共平台
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| 工作时间： | 08:30-17:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 336 小时 0 点； 普通: 336 小时 0 点； 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 双面对准紫外光刻机 SUSS MA6-BA6-Gen4 操作说明 | 1 | 2024-04-26 16:06:17 | 下载 |
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 1.套刻精度：正面精度±0.5um；背面精度±1um； 2.支持晶圆尺寸：6英寸及以下； 3.汞灯功率：350W； 4.分辨率：≤0.8um； 5.对准精度:（TSA）3≤±0.5um（BSA）3≤±1um； 6.均匀度：优于±2.5%。 |
|---|
| 主要参数： | 1.套刻精度：正面精度±0.5um；背面精度±1um； 2.支持晶圆尺寸：6英寸及以下； 3.汞灯功率：350W； 4.分辨率：≤0.8um； 5.对准精度:（TSA）3≤±0.5um（BSA）3≤±1um； 6.均匀度：优于±2.5%。 |
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