仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 光电磁实验室
仪器生产商： 德国 ATV Technologie GmbH
购置日期： 2014-04-22
规格型号： PEO 601,温度范围1100摄氏度,控制精度~+/-0
放置地址：超净室
仪器管理员：陈辉
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 该工艺炉的主要功能包括：高温氧化实现二氧化硅层、高温退火 |
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| 主要参数： | 温度范围：1100摄氏度温度控制精度：~+/-0.2摄氏度300摄氏度升温时间：60min降温时间：从1000摄氏度降到100摄氏度小于45分钟 |
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