仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 航空航天学院 > 航空航天学院（直管）
仪器生产商： 四川南光真空科技有限公司
购置日期： 2017-12-14
规格型号： H94-30型,N/A
放置地址：108
仪器管理员：刘长影
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 可支持2、rdquo；，3、rdquo；，4、rdquo；，6、rdquo；，8、rdquo；及碎片光刻；手动、半自动系统；曝光时间可调；声控功率报警；温度及其气流传感器。可以实现各种非标准基片曝光、复杂微纳图案、正反面曝光等。 |
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| 主要参数： | 曝光类型：正、反面对准单光曝光；曝光面积=115mm；曝光不均匀性：=+-3%；曝光分辨率：1um；曝光模式：可选择正面对准套刻曝光或反面对准套刻曝光；对准范围：X，Y粗调3mm，细调0.3mm、Q细调3°；...... |
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