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高精度探针台负载牵引系统

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高精度探针台负载牵引系统

高精度探针台负载牵引系统

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 海洋学院 > 海洋学院(直管)

仪器生产商: Focus Microwaves,Inc

购置日期: 2018-04-26

使用模式: 自主预约

规格型号: 1808,1808

放置地址:331

仪器管理员:孙华

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

主要是提供一个半自动高频晶圆测试条件。

主要参数: 移动范围大于200mm*300mm,分辨率约为0.5μm,精确率约为+/-2.0μm。直流针座:X、Y、Z轴定位精度2um,X、Y轴移动范围:1.27cm×1.27cm。射频针座:X、Y轴移动范围:1.27cm×1.27cm;分辨率:317.5mm/圈;探针漏电优于10fA,探针系统总漏电优于500fA;高频探针接口2.92mm;平均使用寿命不低于500,000次。提供高性能的信号源和CDM/MM的静电可靠性测试。
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