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光学软刻蚀装置

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光学软刻蚀装置

光学软刻蚀装置

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 海洋学院 > 海洋学院(直管)

仪器生产商: 中国科学院光电技术研究所光学元件

购置日期: 2016-12-23

使用模式: 自主预约

规格型号: ure-2000/A,定制

放置地址:310

仪器管理员:孙华

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

利用弹性模板作为微图案转移中介,通过紫外曝光系统将模板上的电路结构或微图案刻蚀到硅片/玻璃表面光胶上,实现图案的转移复制。

主要参数: 光强均匀性〈+/-1%over2