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晶体提拉炉

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晶体提拉炉

晶体提拉炉

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所

仪器生产商: 山东力冠微电子装备有限公司

购置日期: 2021-03-29

使用模式: 送样预约

规格型号: LG/CG-11-CZO1000,LG/CG-11-CZO1000

放置地址:浙江大学科创中心信息港园区3号楼4112室

仪器管理员:张辉

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最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
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无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

提拉法或导模法生长人工晶体

主要参数: 1、主机部分:包含真空腔室,材质内层316L。2、提拉装置:采用光栅尺测量,精度1微米。最低提拉速度≦0.1mm/H。行程:900mm。3、旋转装置:直流电机PWM电源驱动,转速稳定±1.5%转速连续可调。转速:调节范围0~50r/min。4、称重系统:采用上称重方式,量程:6KG,精度10mg,厂家:进口。5、气路系统:质量流量控制器+气动阀的方式+VCR自动焊接,气动阀选用进口。6、真空系统:油真空泵+防止油反压到真空室。7、报警系统:具有温度及水流量偏差报警。8、加热系统:中频感应加热,60kw。9、UPS电源。10、采用PLC+工控机方式,双保险架构。11、测温:红外测温+热电偶测温。12、软件:软件可终身免费升级。