仪器编号:登录后查看
所属平台: 其他
仪器状态:
所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所
仪器生产商: 山东力冠微电子装备有限公司
购置日期: 2021-03-29
规格型号: LG/CG-11-CZO1000,LG/CG-11-CZO1000
放置地址:浙江大学科创中心信息港园区3号楼4112室
仪器管理员:张辉
联系电话:登录后查看
晶体提拉炉
晶体提拉炉
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所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所
仪器生产商: 山东力冠微电子装备有限公司
购置日期: 2021-03-29
规格型号: LG/CG-11-CZO1000,LG/CG-11-CZO1000
放置地址:浙江大学科创中心信息港园区3号楼4112室
仪器管理员:张辉
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工作时间: | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
---|---|
最小可预约时间段: | 0.5 小时 |
最大可预约时间段: | 168 小时 |
日历最小单位: | 0.5 小时 |
最近提前预约时间: | 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时 |
最远提前预约时间: | 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点 |
最大有效预约次数: | 5 次/天 |
无代价撤销预约时间: | 1440 分钟 |
序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
---|
序号 | 标题 | 添加时间 |
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暂无数据 |
仪器介绍: | 提拉法或导模法生长人工晶体 |
---|
主要参数: | 1、主机部分:包含真空腔室,材质内层316L。2、提拉装置:采用光栅尺测量,精度1微米。最低提拉速度≦0.1mm/H。行程:900mm。3、旋转装置:直流电机PWM电源驱动,转速稳定±1.5%转速连续可调。转速:调节范围0~50r/min。4、称重系统:采用上称重方式,量程:6KG,精度10mg,厂家:进口。5、气路系统:质量流量控制器+气动阀的方式+VCR自动焊接,气动阀选用进口。6、真空系统:油真空泵+防止油反压到真空室。7、报警系统:具有温度及水流量偏差报警。8、加热系统:中频感应加热,60kw。9、UPS电源。10、采用PLC+工控机方式,双保险架构。11、测温:红外测温+热电偶测温。12、软件:软件可终身免费升级。 |
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