仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所
仪器生产商： 丹麦Struers
购置日期： 2015-12-10
规格型号： AbraPlan-20,底部直径350MM
放置地址：玉泉校区硅材料国家重点实验室楼3110
仪器管理员：陈昊
联系电话：登录后查看
8英寸硅片自动研磨抛光机
8英寸硅片自动研磨抛光机
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所属单位： 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所
仪器生产商： 丹麦Struers
购置日期： 2015-12-10
规格型号： AbraPlan-20,底部直径350MM
放置地址：玉泉校区硅材料国家重点实验室楼3110
仪器管理员：陈昊
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| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 硅片机械化学抛光 |
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| 主要参数： | 表面平整度2微米，加工尺寸不超过200MM |
|---|