原子层薄膜沉积系统

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仪器介绍
主要参数

工作时间：	09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段：	0.5 小时
最大可预约时间段：	168 小时
日历最小单位：	0.5 小时
最近提前预约时间：	未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间：	初级: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数：	5 次/天
无代价撤销预约时间：	1440 分钟

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仪器介绍：	各类原子层精度的超薄纳米薄膜材料（金属、非金属、半导体及其氧化物等）的制造。

主要参数：	反应区：1.反应区尺寸：100mm（直径）200mm（长）；2.反应区温度：1000°C；3.基础真空：小于110^-3T；4.工作压力：10mT-700T.反应原料供应系统：1.供应线：两条输送线。每条输送线可输送反应物蒸汽，每条输送线可加热至150°C；2.连接阀：高密封金属VCR阀；3.固态或液态化学反应原料容器（2个）：高密封，可加热，不锈钢容器，容积150mL，容器可加热至200°C；4.反应气体阀门控制：高速ALD控制阀，（开、关）响应时间10mS.过程控制、显示与记录系统：1.薄膜沉积过程的参数，如温度、压力、流量、时间等全部采用数字控制；2.薄膜沉积过程动态图像与数字显示；3.薄膜沉积过程计算机控制与记录；4.WindowsXP或Windows7系统PC及LCD显示器。

主要参数：

反应区：1.反应区尺寸：100mm（直径）*200mm（长）；2.反应区温度：1000°C；3.基础真空：小于1*10^-3T；4.工作压力：10mT-700T.反应原料供应系统：1.供应线：两条输送线。每条输送线可输送反应物蒸汽，每条输送线可加热至150°C；2.连接阀：高密封金属VCR阀；3.固态或液态化学反应原料容器（2个）：高密封，可加热，不锈钢容器，容积150mL，容器可加热至200°C；4.反应气体阀门控制：高速ALD控制阀，（开、关）响应时间10mS.过程控制、显示与记录系统：1.薄膜沉积过程的参数，如温度、压力、流量、时间等全部采用数字控制；2.薄膜沉积过程动态图像与数字显示；3.薄膜沉积过程计算机控制与记录；4.WindowsXP或Windows7系统PC及LCD显示器。