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实验用多晶硅铸锭炉

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实验用多晶硅铸锭炉

实验用多晶硅铸锭炉

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所

仪器生产商: 上海晨华电炉有限公司

购置日期: 2012-01-05

使用模式: 送样预约

规格型号: ZT-40-16D,ZT-50-15D

放置地址:玉泉校区硅材料国家重点实验室楼2-113

仪器管理员:余学功

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工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
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最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

生长铸造多晶硅供科研用

主要参数: 总装机功率:52W额定功率:40KW额定温度:1500度,最高温度:1550度控制方式:可控硅控温精度:3度石英坩埚尺寸:254×192保温桶最大位移:200mm极限真空度:小于1帕保温层移动速度:1-25mm/h