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特种掺杂硅单晶生长炉

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特种掺杂硅单晶生长炉

特种掺杂硅单晶生长炉

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所

仪器生产商: 杭州凯克斯浙大机电有限公司

购置日期: 2010-06-17

使用模式: 送样预约

规格型号: CG6000,CG6000

放置地址:113

仪器管理员:陈昊

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

生长各类不同掺杂的直拉单晶硅

主要参数: 一次性多晶硅投料量不超过25kg,生长的直拉硅单晶直径不超过200mm。
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