仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 日本奥林巴斯
购置日期： 2025-11-05
规格型号： DSX1000
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 超净室内103
仪器管理员：孙颖
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 6:30-24:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.1 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.1 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 0 分钟 |
| 仪器介绍： | 主要用于光刻区图形转移工艺后的表面形貌实时观测。也可用于各类芯片、固体材料、透明和非透明样品的形貌观察、划痕和缺陷检测。 最高可实现1200万以上像素的高清图像采集。 自动对焦，2D扫描，3D扫描，拼图，2D和3D测量，高度、粗糙度测量。 |
| 主要参数： | 1.正置3D全电动显微镜。 2.明场、暗场、斜射、明暗场混合、偏光、DIC微分干涉观测方式。 3.内置LED光源6万小时以上使用寿命。远心光学系统。 4.软件自动识别放大倍率及标尺，含10倍电动变倍功能。 5.配备3块物镜安装板，推拉式切换物镜，每块安装板安装2个物镜，每个物镜可被软件自动识别，热插拔更换。 6.配有6个物镜，包括4个高分辨全功能金相物镜 5X,10X,20X,50X；1个长工作距离20X物镜，1个50X全复消色差NA0.95物镜。 7.能自动适应倍率切换自动调整光强，自动聚焦，每个样品的拍摄条件均可被保存及调用。 8. 可左右倾斜式主机头部及电动式载物台，额外配置独立底部光源，用于辅助透射照明。 9. 软件功能：支持智能快速的图像拼接，景深叠加，2D、3D图像采集和精确的高度和体积等测量功能。 10. 内置式摄像头，带帕尔贴制冷降噪功能，具有像素位移功能，可最高实现1200万以上像素的高清图像采集。 11.配有专用的台式工作站及27英寸高清显示器作为数据处理工作站。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 1 | 图形转移工艺流程及设备选用 | 2026-06-12 22:08:10 |
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
