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扫描电子显微镜

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扫描电子显微镜

扫描电子显微镜

仪器编号:登录后查看

所属平台: 电镜集群

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 硅及先进半导体材料全国重点实验室

仪器生产商: 日立

购置日期: 2007-02-27

使用模式: 自主预约

规格型号: S-4800,冷场发射

放置地址:103室

仪器管理员:王洁如

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;13:00-17:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 336 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 12小时; 普通资格用户: 2小时; 资深资格用户: 2小时
最远提前预约时间: 初级: 168 小时 0 点; 普通: 168 小时 0 点; 资深: 168 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
序号 标题 添加时间
1 制样 2023-11-14 16:11:51
仪器介绍:

固体表面微观形貌观察。该机型是日立公司的经典机型。虽然年迈但成像质量不亚于新电镜。目前能成像10万倍没有问题。

主要参数: 二次电子分辨率1.0nm(15kV);2.0nm(1kV);背散射电子分辨率3.0nm(15kV);加速电压0.5~30kV(0.1KV/步,可变);放大倍率20~800,000;