白光干涉仪 - 仪器详情

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工作时间：	09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段：	2 小时
最大可预约时间段：	168 小时
日历最小单位：	2 小时
最近提前预约时间：	未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间：	初级: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数：	5 次/天
无代价撤销预约时间：	1440 分钟

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仪器介绍：	本试验台面向具有曲率突变特征的复杂三维微纳结构超精密测量，通过白光干涉测量子系统的亚纳米级测量精度对扫描探针显微测量系统的纳米级测量结果进行校验分析，以揭示大长径比扫描探针与试件表面间的动力学及量子隧道结的耦合特性，为扫描探针显微成像提供真实可靠的实验研究依据，揭示复杂面型轮廓、表面粗糙度、表面波纹度等多参数测量、解耦、表征一体化理论。

仪器介绍：

本试验台面向具有曲率突变特征的复杂三维微纳结构超精密测量，通过白光干涉测量子系统的亚纳米级测量精度对扫描探针显微测量系统的纳米级测量结果进行校验分析，以揭示大长径比扫描探针与试件表面间的动力学及量子隧道结的耦合特性，为扫描探针显微成像提供真实可靠的实验研究依据，揭示复杂面型轮廓、表面粗糙度、表面波纹度等多参数测量、解耦、表征一体化理论。

主要参数：	系统可对具有曲率突变特征的复杂三维微纳结构进行超精密测量，并可通过白光干涉测量子系统实现三维微纳结构的亚纳米级粗糙度测量和跨尺度高效无失真测量，为扫描探针显微成像提供真实可靠的实验研究依据。其中，购置的白光干涉测量子系统满足以下技术指标：Z轴分辨率：≤0.1nm（150um范围内）；RMS重复性：34um/s；干涉物镜：5.5倍视场范围3mx3mm；20倍视场范围0.84x0.84mm；干涉物镜工作距离：5.5x物镜工作距离要求9.6mm；20x物镜工作距离要求4.7mm物镜转台：自动转台；载物台工作范围：样品台大小200x200mm，全自动，带拼接，移动范围150x150mm，能放置200x200mm的方形样品。台阶高度测试精度：≤0.8%（全程20mm范围内）；台阶高度重复性：≤0.1%@1sigma。

主要参数：

系统可对具有曲率突变特征的复杂三维微纳结构进行超精密测量，并可通过白光干涉测量子系统实现三维微纳结构的亚纳米级粗糙度测量和跨尺度高效无失真测量，为扫描探针显微成像提供真实可靠的实验研究依据。其中，购置的白光干涉测量子系统满足以下技术指标：Z轴分辨率：≤0.1nm（150um范围内）；RMS重复性：34um/s；干涉物镜：5.5倍视场范围3mx3mm；20倍视场范围0.84x0.84mm；干涉物镜工作距离：5.5x物镜工作距离要求9.6mm；20x物镜工作距离要求4.7mm物镜转台：自动转台；载物台工作范围：样品台大小200x200mm，全自动，带拼接，移动范围150x150mm，能放置200x200mm的方形样品。台阶高度测试精度：≤0.8%（全程20mm范围内）；台阶高度重复性：≤0.1%@1sigma。