分析测试管理服务平台

193nm激光剥蚀系统

首页 仪器预览
193nm激光剥蚀系统

193nm激光剥蚀系统

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 地球科学学院 > 地球科学学院(直管)

仪器生产商: Cetac

购置日期: 2018-09-07

使用模式: 送样预约,按时预约

规格型号: Analyte HE,193nm 20ns

放置地址:地球与行星物质科学研究中心109

仪器管理员:黄智敏

联系电话:登录后查看

收藏

预约
工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 2 小时
最大可预约时间段: 96 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 1200 小时 0 点; 资深: 2400 小时 0 点
最大有效预约次数: 4 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
序号 标题 文件数量 添加时间 操作
  • 检测项目名称:激光剥蚀矿物微量元素

    检测资质:其他

    检测单位:地球科学学院(直管)

    仪器数量:1

  • 检测项目名称:激光剥蚀U-Pb定年

    检测资质:其他

    检测单位:地球科学学院(直管)

    仪器数量:1

  • 检测项目名称:激光剥蚀电感耦合等离子体质谱仪

    检测资质:

    检测单位:地球科学学院(直管)

    仪器数量:2

序号 标题 添加时间
暂无数据
仪器介绍:

该仪器为四级杆质谱配件,不能单独使用,为ICPMS分析提供气体进样系统。双体积样品池可以使用光学薄片或1英寸环氧树脂圆形靶。光学观察系统与激光系统同轴,可以生成导航图,与实时图像结合,能够快速定位分析区域。

主要参数: 1.激光源1.1193nm空气冷却气态准分子激光源,激光源寿命不少于5亿次,脉冲宽度:20ns;脉冲稳定性:2%;能量密度:1-45J/cm2;剥蚀频率:1-20Hz;剥蚀模式:四种激光剥蚀模式可以任意切换;剥蚀斑点尺寸:2um-175um;光斑:不少于30个剥蚀光斑可选,其中包括不少于20个圆形光斑,6个方形光斑和4个狭缝光斑。2.软件控制激光能量输出,连续调节光学衰减器调节激光能量,最大100%输出;3.可以快速扫描样品池,自动生成样品池导视图。在该图上显示另外一个动态关联图层或窗口,以便于定位剥蚀兴趣点;软件内置SEM功能,支持外部高清图片(扫描,探针,CL图片)导入,自动旋转定位于样品。