仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 物理学院 > 物理学院（直管）
仪器生产商： 荷兰TSST公司
购置日期： 2019-11-11
规格型号： 定制,定制
放置地址：109
仪器管理员：王彦智
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 1、制备高质量氧化物薄膜、金属薄膜，以及通过原位传递在不暴露大气的情况下实现氧化物薄膜和金属薄膜的有机结合，制备高质量器件。2、该设备处于国内领先水平。 |
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| 主要参数： | 主腔体:(1)本底真空度优于5E-9Torr;(2)配置红外激光加热和电阻加热双加热系统，最高加热温度不低于1100摄氏度；(3)配置30keV高气压高能电子束衍射系统，可在最高不低于0.4Torr氧压下原位监控样品生长；(4)配置高浓度臭氧产生、供给和后处理装置；(5)样品托可在进样室、脉冲激光沉积室和电子束蒸发室之间顺畅传输；（6）除臭氧气路外，不少于双路进气。电子束蒸发室：(7)本底真空度优于1E-9Torr;(8)样品台可连续旋转，可加热，最高加热温度不低于800摄氏度；（9）与超高真空系统兼容的电子束蒸发源，不少于6个pocket（10）配置高品质清洗离子源；（11）配置掩膜系统，（12）配置臭氧气路 |
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