仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 物理学院 > 物理学院（直管）
仪器生产商： 美国科特莱思科（K.J. Lesker）
购置日期： 2018-09-25
规格型号： K. J. Lesker Nano36,不锈钢超高真空腔体，5*10E-6Torr
放置地址：紫金港校区 > 纳米楼 > 一层 > 126
仪器管理员：郑毅
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 主要功能:1。金属电极的制备（粘着层+导电层）。;2。金属薄膜的热阻蒸镀（4英寸）。 |
| 主要参数： | 1.不锈钢超高真空腔体，采用前开门方式，方便开启和安放材料。3.样品台和蒸发源分别安装在腔室顶部和底部法兰口上，法兰为可拆卸ISO250(10)，样品和源距离大于12英寸。4.主真空系统为260L/S的分子泵，系统正常工作压力≤5x10-6Torr。5.自动全量程真空计，大气至10-9Torr。6.配置四组热阻蒸发源；源通过不锈钢的屏蔽板防止交叉污染；蒸发源的法兰集成水冷管道，防止过热。7.样品台可放置4英寸的基片，并可固定小尺寸样品（1cm×1cm）；样品台集成水冷和原位自转功能。8.集成程序控制膜厚度控制系统。9.集成硬件控制系统，可实现对系统全面控制。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
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| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
