仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 物理学院 > 物理学院（直管）
仪器生产商： 荷兰TSST
购置日期： 2017-12-01
规格型号： 定制,定制
放置地址：109
仪器管理员：王彦智
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 脉冲激光沉积技术具有成膜的化学成分计量比和靶材一致、生长快速等众多优点，几乎适用于所有的固态氧化物材料以及其他很多材料，被广泛应用于物理学和材料学等研究领域；电子束蒸发是非常强大的金属薄膜制备技术，特别适合制备各种金属电极。脉冲激光沉积和电子束蒸发的结合可以实现氧化物电子器件的原位加工和制备，可以更好地研究包含氧化物材料在内的众多材料的本征电输运性质。 |
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| 主要参数： | 由预真空进样室、超高真空脉冲激光沉积室、超高真空电子束蒸发室和准分子激光器四部分组成。所有主要部件皆须使用进口产品。技术指标：（一）进样室1、本底真空度优于5E-7torr；2、采用两支与超高真空相容的线性传送杆（二）激光沉积室1、本底真空度优于5E-9torr；2、样品台系统为一套红外激光加热器；3、样品台系统包含一个X/Y/Z操控平台4、样品托为SiC5、对于激光加热器：在真空环境无负载下，要求开始加热90秒内温度不低于1000℃配备pyrometer测温器用于探测样品温度；6.要求有30keV高气压高能电子束衍射系统，二级差分抽气，含衍射成像系统；（三）超高真空电子束蒸发室1、本底真空度优于5E-9torr；2、样品托可在三个腔体顺畅传输；3、电子束系统可使用TELEMARK，与超高真空系统相容，电子束蒸发源含6个pocket（四）准分子激光器1、*波长:248nm2、*脉冲能量：700mJ |
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