仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 工程师学院 > 信息与微电子平台 > 微电子实验室
仪器生产商： 德国/CASCADE
购置日期： 2018-04-03
规格型号： summit 12000B-M,summit 12000B-M
放置地址：318
仪器管理员：刘冬
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 在片测试时,能有效地屏蔽光及电磁波干扰,且可在-55~300度的环境下进行直流IV/CV参数（漏电流为fA级）提取;或可以进行S参数（频率可高达110GHZ）的测试；更详细地了解器件的性能 |
| 主要参数： | 1.8英寸半自动探针台；2.微暗室拥有最低20dB0.5-3GHz、小于-170dBVrms/rtHz（≤50KHz）、小于5mVp-p(≤1GHz)的系统AC噪声、光强衰减大于120dB；3.高低温环境可实现-60°C至300°C的温度变化，均匀性为+/-0.1°C；4.载物台在X-Y方向：1μm分辨率、小于2μm重复精度、大于50mm/sec的移动速度；在Z方向：5mm的移动范围、1μm分辨率、小于1μm重复精度；在Theta方向：+/-5.5度；5.可以实现通过软件对晶片载台X、Y、Z、Theta四个方向的移动全程控制。可提供自动晶片水平校准，自动器件尺寸测量，自动移动误差补偿，远程控制等自动化功能；6.机台台面可实现独立的上升或下降，且移动范围大于10mm；移动重复精度≤3μm； |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
