仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 北京中电科电子装备有限公司
购置日期： 2012-12-14
规格型号： H-603
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 107
仪器管理员：刘志
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 08:30-12:00;13:30-17:30 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 预约保护时间： | 15 分钟 |
| 失约保护时间： | 15 分钟 |
| 断电延时时间： | 30 秒 |
| 最短重上电时间： | 5 秒 |
| 使用超时提醒： | 120 秒 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 划片机用于芯片的切割和划片，如微电子、光电子、MEMS、碳化硅电力电子器件等芯片的划片工艺中，将晶圆切割为单独的芯片die。 芯片划片机主要用于集成电路、发光二极管、铌酸锂、压电陶瓷、石英、砷化镓、蓝宝石、碳化硅、氮化镓等材料的划切加工。与材料学科和机械学科可以共享。 |
| 主要参数： |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
