仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 工程师学院 > 信息与微电子平台 > 微电子实验室
仪器生产商： 上海和伍精密仪器股份有限公司
购置日期： 2017-12-05
规格型号： S100E-H,S100E-H
放置地址：318
仪器管理员：刘冬
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析 |
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| 主要参数： | 扫描范围314x314mm，扫描精度达±0.5微米；图像分辨率：4百万（2048x2048）物理像素；3维虚拟立体成像；反射扫描模式和穿透式扫描模式可选；对样品进行逐层切片分析 |
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