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场发射扫描电子显微镜

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场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜

仪器编号:登录后查看

所属平台: 电镜集群

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 材料科学与工程实验教学中心

仪器生产商: 国仪量子技术(合肥)股份有限公司

购置日期: 2026-05-29

使用模式: 自主预约

规格型号: SEM5000

放置地址:紫金港校区 > 和同苑9幢10幢(材料大楼) > 材1D-107室

仪器管理员:王凤志

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

场发射扫描电子显微镜采用肖特基场发射电子枪,利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的二次电子、背散射电子等信号来调制成像。主要用于材料微观形貌、表面结构及微区特征的高分辨观测,具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点,可满足纳米尺度下对各类材料精细结构的表征需求。


主要参数: 1、分辨率:≤0.8nm@15kV,≤1.2nm@1kV 2、放大倍数1×~2500000×(1~16×为光学放大) 3、加速电压范围:20 V~30 kV 5、样品台行程:X/Y:110 mm,Z≥65 mm,R:360° 6、样品仓容积:宽360mm,高317mm,深310mm 7、探测器:侧向二次电子探测器,镜筒内二次电子探测器,背散射电子探测器 8、支持四通道同时成像功能
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备案收费标准 登录后可查看
说明:原则上按备案收费标准执行,实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。