仪器编号:登录后查看
所属平台: 其他
仪器状态:
所属单位: 浙江大学 > 国际联合学院(海宁国际校区) > 微纳公共平台
仪器生产商: 美国KLA
购置日期: 2021-12-23
规格型号: P-7,最大垂直测量范围:327um;Z测量重
放置地址:海宁国际校区 > 教学南区(西侧) > 一层 > 1E105
仪器管理员:颜刘刚
联系电话:登录后查看
| 工作时间: | 08:30-17:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段: | 0.1 小时 |
| 最大可预约时间段: | 168 小时 |
| 日历最小单位: | 0.1 小时 |
| 最近提前预约时间: | 未授权用户: 0小时; 普通资格用户: 0小时; 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间: | 初级: 336 小时 0 点; 普通: 336 小时 0 点; 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数: | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间: | 1440 分钟 |
| 仪器介绍: | 1.量程:5nm-100um; 2.水平分辨率:0.025um; 3. 最大扫描长度:150mm,仅2D扫描; 4.扫描速度:2um/s-25mm/s; 5.探针测量力:0.03-50mg; 6.探针半径:2um; 7.双重倍数显示:60-240x。 |
| 主要参数: | 1.量程:5nm-100um;2.水平分辨率:0.025um;3.最大扫描长度:150mm,仅2D扫描;4.扫描速度:2um/s-25mm/s;5.探针测量力:0.03-50mg;6.探针半径:2um;7.双重倍数显示:60-240x。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 1 | 台阶膜厚仪 KLA Tencor P-7 使用说明 | 2024-04-28 10:20:52 |
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明:原则上按备案收费标准执行,实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |