仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
仪器生产商： 美国KLA
购置日期： 2021-12-23
规格型号： P-7,最大垂直测量范围：327um；Z测量重
放置地址：1E105
仪器管理员：戈佳艳
联系电话：登录后查看
台阶膜厚仪
台阶膜厚仪
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所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
仪器生产商： 美国KLA
购置日期： 2021-12-23
规格型号： P-7,最大垂直测量范围：327um；Z测量重
放置地址：1E105
仪器管理员：戈佳艳
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| 工作时间： | 08:30-17:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.1 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.1 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 336 小时 0 点； 普通: 336 小时 0 点； 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 1 | 台阶膜厚仪 KLA Tencor P-7 使用说明 | 2024-04-28 10:20:52 |
| 仪器介绍： | 1.量程：5nm-100um； 2.水平分辨率：0.025um； 3. 最大扫描长度：150mm，仅2D扫描； 4.扫描速度：2um/s-25mm/s； 5.探针测量力：0.03-50mg； 6.探针半径：2um； 7.双重倍数显示：60-240x。 |
|---|
| 主要参数： | 1.量程：5nm-100um；2.水平分辨率：0.025um；3.最大扫描长度：150mm，仅2D扫描；4.扫描速度：2um/s-25mm/s；5.探针测量力：0.03-50mg；6.探针半径：2um；7.双重倍数显示：60-240x。 |
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