仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院（海宁国际校区） > 微纳公共平台
仪器生产商： 江阴市希瑞电子有限公司
购置日期： 2021-04-06
规格型号： EMS,HP1000-3
放置地址：1E105
仪器管理员：戈佳艳
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 08:30-17:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 336 小时 0 点； 普通: 336 小时 0 点； 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 1.10英寸方形，配可编程顶针和限位孔；2.温度设定范围300℃，温度误差±0.3%，温度均匀性±0.5℃；3.最大可完成8英寸晶圆的匀胶烘烤，向下兼容。 |
| 主要参数： | 1.10英寸方形，配可编程顶针和限位孔；2.温度设定范围300℃，温度误差±0.3%，温度均匀性±0.5℃；3.最大可完成8英寸晶圆的匀胶烘烤，向下兼容。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 加热台 EMS 1000-3 操作说明 | 1 | 2024-04-26 16:50:45 | 下载 |
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
