仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 国际联合学院 > 微纳公共平台
仪器生产商： 中国科学院沈阳仪器股份有限公司
购置日期： 2020-12-11
规格型号： DZS500,极限真空度：≤ 8E -6Pa，基片尺寸
放置地址：1E105
仪器管理员：戈佳艳
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 08:30-17:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.25 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.25 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 336 小时 0 点； 普通: 336 小时 0 点； 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 电子束蒸发系统 DZS-500 操作说明 | 1 | 2024-04-26 16:09:31 | 下载 |
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准控制高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度高精度的薄膜，常用来制备Al、CO、Ni、Fe、Au的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜 |
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| 主要参数： | 工件台尺寸：圆形工件台，直径150毫米（6英寸）装载量：可装载一个或者多个6英寸或样品极限真空：小于1x10-5Pa~10-8Torr工作真空:10-6Torr~10-3Pa抽气速率：工艺腔从大气抽到1x10-4Pa的时间少于30分钟电子枪功率：8千瓦左右坩埚数量：gt;=4个漏率：优于5E-3Pa.L/s工件台转速：0至20转/分钟可调，有旋转功能，可以调样品倾角(0-90度可调)水冷工件台：工件台可通水冷却镀膜均匀性：直径150毫米（6英寸）范围内均匀性优于±5%镀膜重复性：批次间重复性优于±2% |
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