仪器编号:登录后查看
所属平台: 其他
仪器状态:
所属单位: 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 极端光学技术与仪器全国重点实验室
仪器生产商: ZYGO
购置日期: 2024-09-19
规格型号: MST HD
放置地址:浙江省杭州市萧山区平澜路2118号浙江大学国际科创中心水博园区
仪器管理员:徐沛拓
联系电话:登录后查看
工作时间: | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
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最小可预约时间段: | 0.5 小时 |
最大可预约时间段: | 168 小时 |
日历最小单位: | 0.5 小时 |
最近提前预约时间: | 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时 |
最远提前预约时间: | 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点 |
最大有效预约次数: | 5 次/天 |
无代价撤销预约时间: | 1440 分钟 |
序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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序号 | 标题 | 添加时间 |
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暂无数据 |
仪器介绍: | 生产厂家:ZYGO 型 号:MST HD 中频波长移相斐索型激光干涉仪利用先进的激光干涉技术,实现高精度、非接触 式的表面形貌测量,适用于球面、非球面等复杂面形,有效捕捉表面面形误差、波纹 度等关键参数。在精密仪器、同步辐射、半导体、机床校准领域、极端光学技术研究 领域应用广泛。 |
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主要参数: | 1..通光口径:4 inch 2.峰值像素偏差<0.5 nm 3.频率稳定:<0.0001nm 4.系统传递函数:ITF > 0.7 @ 5.4 cyc/mm 5.RMS波前重复性:0.35nm, λ/1,800 (mean + 2σ) |
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