场发射扫描电镜（SU8600, SEM，高分子系）含能谱

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仪器介绍
主要参数

工作时间：	09:00-12:00;14:00-17:00
最小可预约时间段：	1 小时
最大可预约时间段：	168 小时
日历最小单位：	0.5 小时
最近提前预约时间：	未授权用户: 0小时；普通资格用户: 0小时；资深资格用户: 0小时
最远提前预约时间：	初级: 504 小时 0 点；普通: 504 小时 0 点；资深: 504 小时 0 点
最大有效预约次数：	5 次/天
无代价撤销预约时间：	1440 分钟

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1	测试注意事项及仪器功能	2024-11-15 11:31:08

仪器介绍：	1. 选用了新的冷场发射电子枪，使发射源的亮度更高、像散更小，其最高分辨率可达 0.6nm； 2. 配置了半内透镜物镜，信号产额少时如大工作距离观察、观察轻元素等，可以获得更多的信号； 3. 配备了Lower、Upper和Top，PD-BSE四种探测器，利用不同探头，可以分别接受二次电子（SE）、高角度背散射电子（HA-BSE）和低角度背散射电子（LA-BSE），可更全面的得到样品更真实的形貌； 4. 具备6英寸样品交换仓，抽真空时间可在90秒以内； 5. 在减速模式下可以实现0.01kV超低着陆电压的成像。 6.配备牛津大窗口能谱仪，可实现微区成分及分布差异的测试

仪器介绍：

1. 选用了新的冷场发射电子枪，使发射源的亮度更高、像散更小，其最高分辨率可达 0.6nm；

2. 配置了半内透镜物镜，信号产额少时如大工作距离观察、观察轻元素等，可以获得更多的信号；

3. 配备了Lower、Upper和Top，PD-BSE四种探测器，利用不同探头，可以分别接受二次电子（SE）、高角度背散射电子（HA-BSE）和低角度背散射电子（LA-BSE），可更全面的得到样品更真实的形貌；

4. 具备6英寸样品交换仓，抽真空时间可在90秒以内；

5. 在减速模式下可以实现0.01kV超低着陆电压的成像。

6.配备牛津大窗口能谱仪，可实现微区成分及分布差异的测试

主要参数：	术指标： 1. 二次电子分辨率：0.6nm@15kv，0.7nm@1kv； 2. 底片放大倍率：最小20倍，最大2,000,000倍； 3. 具备样品台减速功能，可用以在低着陆电压下提供高分辨率成像； 4. 样品台驱动：5轴优中心马达驱动，X：110mm，Y：110mm，Z：1.5～40mm，R：360°，T：-5°～70°； 5. 具有高位探测器、低位探测器，可以接收SE、HA-BSE、LA-BSE，可以按比例选择接收SE和BSE信号，并可以在2kV以下对BSE成像，具备顶探头和独立的背散射电子探头； 6. 分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积100mm2，高分子超薄窗设计，能量分辨率Mn Ka保证优于127eV（@计数率130,000cps）。

主要参数：

术指标： 1. 二次电子分辨率：0.6nm@15kv，0.7nm@1kv； 2. 底片放大倍率：最小20倍，最大2,000,000倍； 3. 具备样品台减速功能，可用以在低着陆电压下提供高分辨率成像； 4. 样品台驱动：5轴优中心马达驱动，X：110mm，Y：110mm，Z：1.5～40mm，R：360°，T：-5°～70°； 5. 具有高位探测器、低位探测器，可以接收SE、HA-BSE、LA-BSE，可以按比例选择接收SE和BSE信号，并可以在2kV以下对BSE成像，具备顶探头和独立的背散射电子探头； 6. 分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积100mm2，高分子超薄窗设计，能量分辨率Mn Ka保证优于127eV（@计数率130,000cps）。