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场发射扫描电子显微镜

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场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心

仪器生产商: 蔡司

购置日期: 2021-11-30

使用模式: 送样预约,自主预约

规格型号: sigma 300,0.02-30kv,最大放大倍率100万倍

放置地址:115

仪器管理员:谢石建

联系电话:登录后查看

工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段: 0.5 小时
最大可预约时间段: 168 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
仪器介绍:

可对铁磁性和易磁性材料进行2mm内短距离下,进行底片倍率高于200,000倍的高分辨成像;配有能谱分析仪,可对样品进行元素定性分析。

主要参数: 二次电子分辨率:≤1.0nm@15kV,≤1.6nm@1kV(非样品台减速模式下);电子束流:最大束流不小于20nA;电子束加速电压:0.02kV-30kV,步进10V,连续可调;8.配置五轴优中心马达驱动样品台,移动XY方向最大移动范围:X≥125mm,Y≥125mm,R=360°(旋转);具备元素谱图实时功能,在谱图采集时实时显示定量分析结果;定性分析:可自动标识谱峰,可进行谱重构;定量分析:具有B5~Cf98元素虚拟标样定量数据库;
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