仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 捷克SVCS
购置日期： 2021-04-30
规格型号： SVcFUR21810,TEOS & Polycrystalline Silicon &
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 115
仪器管理员：陈长鸿
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 6小时； 资深资格用户: 6小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 240 分钟 |
| 仪器介绍： | 用于沉积高品质多晶硅；用于沉积高品质的低应力氮化硅或氮氧化硅 |
| 主要参数： | 沉积材料：SiO2、Si3N4、Poly-Si晶片尺寸：6英寸,50片LP-SiO2：源TEOS,700~800℃LP-Si3N4：800~900℃LP-Poly-Si：600~700℃, |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
