仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 中国电子科技集团公司第二研究所
购置日期： 2020-06-15
规格型号： SQX-1
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 115
仪器管理员：刘艳华
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 0.25小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 336 小时 0 点； 普通: 336 小时 0 点； 资深: 336 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 仪器介绍： | 石英炉管清洗台主要是通过酸浸泡、DI吹水浸泡冲洗及氮气吹干等功能，去除扩散工艺炉管内反应内壁附着膜层污染物，并迫使污染层自动脱离，从而达到清洁石英炉管内壁的功能作用。 |
| 主要参数： | 设备适合尺寸：管径×管长：φ210×1880（mm），φ208×1880（mm），φ168×1800（mm），φ255×2060（mm）；酸浸泡、DI水浸泡清洗、N2吹干；PVDF特殊加工齿轮带动转轴转动，驱动石英管转动；RT浸泡，耐腐蚀泵吸排放；内有装有喷嘴支架，强力风切，具有喷嘴及控制阀；报警保护装置（管道低压、漏液、排放互锁等）。 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
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| 序号 | 标题 | 添加时间 |
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| 暂无数据 | ||
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
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| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
