石英管清洗机 - 仪器详情

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仪器介绍
主要参数

工作时间：	09:00-12:00;14:00-18:00
最小可预约时间段：	0.5 小时
最大可预约时间段：	168 小时
日历最小单位：	0.5 小时
最近提前预约时间：	未授权用户: 24小时；普通资格用户: 24小时；资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间：	初级: 720 小时 0 点；普通: 720 小时 0 点；资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数：	5 次/天
无代价撤销预约时间：	1440 分钟

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仪器介绍：	石英炉管清洗台主要是通过酸浸泡、DI吹水浸泡冲洗及氮气吹干等功能，去除扩散工艺炉管内反应内壁附着膜层污染物，并迫使污染层自动脱离，从而达到清洁石英炉管内壁的功能作用。

主要参数：	设备适合尺寸：管径×管长：φ210×1880（mm），φ208×1880（mm），φ168×1800（mm），φ255×2060（mm）；酸浸泡、DI水浸泡清洗、N2吹干；PVDF特殊加工齿轮带动转轴转动，驱动石英管转动；RT浸泡，耐腐蚀泵吸排放；内有装有喷嘴支架，强力风切，具有喷嘴及控制阀；报警保护装置（管道低压、漏液、排放互锁等）。

主要参数：

设备适合尺寸：管径×管长：φ210×1880（mm），φ208×1880（mm），φ168×1800（mm），φ255×2060（mm）；酸浸泡、DI水浸泡清洗、N2吹干；PVDF特殊加工齿轮带动转轴转动，驱动石英管转动；RT浸泡，耐腐蚀泵吸排放；内有装有喷嘴支架，强力风切，具有喷嘴及控制阀；报警保护装置（管道低压、漏液、排放互锁等）。