仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 北京金盛微纳科技有限公司
购置日期： 2015-07-09
规格型号： BP-2B,280X260X210
放置地址：玉泉校区 > 微电子楼（功率器件研究楼） > 一层 > 超净室内103
仪器管理员：孙颖
联系电话：登录后查看
| 工作时间： | 06:30-24:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 0小时； 普通资格用户: 0小时； 资深资格用户: 0小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 30 天 0 点； 普通: 30 天 0 点； 资深: 10 周 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 15 分钟 |
| 仪器介绍： | 烘胶台用于光刻工艺中的前烘、后烘和坚膜。 |
| 主要参数： | 1、烘胶板材料：不锈钢 2、烘胶板规格：Φ200mm 3、烘烤温度：≤200℃ 4、控温精度：±2℃ 5、控温形式：采用温控仪PID调节（功率调节），自动测温、控温 6、外形尺寸：280*360*220mm 7、输入电源：AC 220V/240V，50Hz 8、整机功率：600W 9、整体重量：10Kg |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 1 | 图形转移工艺流程及设备选用 | 2026-06-12 22:30:53 |
| 备案收费标准 | 登录后可查看 |
|---|---|
| 说明：原则上按备案收费标准执行，实际收费标准可在仪器预约时查看或咨询仪器管理员。 | |
