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类脑计算器件介电层沉积辅助系统

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类脑计算器件介电层沉积辅助系统

类脑计算器件介电层沉积辅助系统

仪器编号:登录后查看

所属平台: 其他

仪器状态:

所属单位: 浙江大学 > 计算机科学与技术学院 > 计算机科学与技术学院(直管)

仪器生产商: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公

购置日期: 2023-09-01

使用模式: 送样预约

规格型号: PVD-400

放置地址:----

仪器管理员:林芃

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工作时间: 09:00-12:00;14:00-18:00
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最大可预约时间段: 12 小时
日历最小单位: 0.5 小时
最近提前预约时间: 未授权用户: 24小时; 普通资格用户: 24小时; 资深资格用户: 24小时
最远提前预约时间: 初级: 720 小时 0 点; 普通: 720 小时 0 点; 资深: 720 小时 0 点
最大有效预约次数: 5 次/天
无代价撤销预约时间: 1440 分钟
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仪器介绍:

本沉积系统可用于制备光学薄膜、电学薄膜、磁性薄膜、硬质保护薄膜和装饰薄膜等,工艺性能稳定、模块化结构,采用行业领先的软件控制系统。用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研项目。

主要参数: